Gall system glanhau laser ar gyfer glanhau offer PVD, yn effeithiol, gael gwared â gorchudd aml-haen, dim difrod mecanyddol, dim difrod i'r arwyneb weldio neu selio, lleihau amser cylch gwresogi, dim adweithyddion amgylcheddol a chemegol, dim llygryddion eilaidd Nid oes angen lân, adwaith cyffredinol gellir cwblhau glanhau siambr mewn ychydig oriau ychydig.
Gall technoleg glanhau laser hyd yn oed dynnu'r dyddodion cyfnod anwedd anoddaf i'w glanhau, gan gynnwys cotiau carbon tebyg i ddiamwnt a gorchuddion eraill sy'n gwisgo gwisgoedd. Mae pŵer laser wedi'i bwndelu yn anweddu "haenau bwled" hyn. Yn y pen draw, gellir glanhau swbstradau manwl gywir yn ddiogel a heb ddifrod, ac ni chynhyrchir unrhyw weddillion. Gall y siambr plasma fod â llaw neu lled-awtomatig yn ddarostyngedig i ddibynnu laser effeithiol tra'n glanhau.
Mae dyddodiad anwedd corfforol PVD yn cyfeirio at y broses o drosglwyddo sylwedd neu foleciwl o ffynhonnell i wyneb swbstrad gan broses gorfforol. Ei swyddogaeth yw gwneud rhai gronynnau gydag eiddo arbennig (cryfder uchel, gwrthsefyll gwisgo, disipiad gwres, ymwrthedd cyrydiad, ac ati) yn chwistrellu ar y corff mamau perfformiad is, fel bod gan y fam corff berfformiad gwell. Yn y broses hon, fodd bynnag, nid yw'r haen chwistrellu lac yn cydymffurfio â'r arwyneb targed, ond hefyd yn integreiddio ag arwynebau'r offer a'r gosodiadau a ddefnyddir i ddal y rhannau yn y siambr ymateb. Gall y system glanhau laser lân arwyneb yr offeryn PVD yn effeithiol, gan osgoi effeithiau andwyol deunyddiau gorchudd PVD gormodol, megis lleihau goddefgarwch y gweithle, selio siambr yr adwaith yn wael, gan arwain at fwy o leithder ac amser gwresogi hir.
