Laser yn un o bwys a ddyfeisiodd y gwyddorau naturiol yr ugeinfed ganrif. Yn 1960, Cynhyrchwyd y laser gyntaf yn y byd. Yn dilyn hynny, wedi laserau â chydlyniad da, onglau gelyn bach a crynodiad uchel o ynni wedi'u defnyddio'n helaeth mewn meysydd amrywiol, megis laser amrywio, prosesu laser, a chyfathrebu â laser. Yn y 1980au cynnar, dechreuodd pobl i ddefnyddio'r trawstiau laser llawn egni i daflu goleuni ar wyneb y workpiece, gan achosi wyneb y baw, rhwd neu gaenen i anweddu yn syth neu pilio oddi ar, a dileu'r ymlyniad neu gaenen ar wyneb y gwrthrych ar gyflymder uchel. Y broses glanhau arwyneb y deunydd yn laser glanhau. Ers y deng mlynedd diwethaf, glanhau laser wedi symud o'r labordy i gymwysiadau ymarferol, defnyddio mewn amrywiol rwber cynnyrch molds, silicôn cynhyrchion molds i gael gwared ar olew, creiriau rhwd, diwylliannol, microelectronic byrddau cylched a deunyddiau eraill glanhau, a cyflawni manteision economaidd a chymdeithasol da iawn.
Yng nghanol y 1980au, er mwyn diwallu anghenion cynhyrchu diwydiannol i gael gwared ar ronynnau bychain ar gof templedi, wedi glanhau laser yn derbyn sylw helaeth a gwaith ymchwil a gydnabyddedig swyddogol fel dull glanhau effeithiol sydd gan ymchwilwyr ceisio defnyddio. Dulliau glanhau confensiynol megis glanhau mecanyddol, glanhau cemegol, a glanhau uwchsain i ddileu submicron gronynnau sydd ynghlwm wrth y templed yn llai na delfrydol. Ers y arsugniad rym y gronynnau ar y templed (van der Waals rym, grym electrostatig, ac ati) yn eithaf rhyfeddol, fel gronynnau maint μm 1, ei rym arsugniad ar wyneb y templed yw tua 106 gwaith ei difrifoldeb, a mecanyddol y Ni ellir cwblhau glanhau dull. Cael gwared o ronynnau bach iawn, glanhau cemegol gall arwain at cyrydu a recontamination y templed. Rhaid glanhau uwchsonig templed i'w leoli yn y Ganolfan dirgryniad sonic, a fydd yn peri y templed i ymdorri. Cynhyrchir laser glanhau o dan amgylchiadau o'r fath. Yn yr achos hwn, dechreuodd pobl i astudio ei systematig: wedi ei ymddangosiad yn datrys y broblem o halogiad ar y wyneb y templed, ac â datblygu glanhau technoleg laser, mae'n eang defnyddiwyd hefyd mewn llawer o feysydd eraill.
Ar ddiwedd yr 1980au, canfu gwyddonwyr fod yn fwy ffafriol i cael gwared o heintio gronynnau sy'n cwmpasu wyneb y swbstrad â haen hylifol ategol. Yn eu plith, mae dŵr yn haen ategol o'r fath effeithiol. Y dull sy'n cwmpasu wyneb yr erthygl ei lanhau â ffilm hylif yn ôl trwch oddeutu milimetrau ac yna arbelydru laser i gael gwared ar y gronynnau halogedig yw hyn a alwn yn ddiweddarach glanhau (gwlyb) laser stêm, o'i gymharu â y math o sych. Mae laser glanhau, laser stêm glanhau effeithlonrwydd glanhau uwch. Nid oedd tan y 1990au cynnar mewn gwirionedd glanhau â laser a roesoch cynhyrchu diwydiannol. Yn wir, bron yn 1987, tri grŵp ymchwil annibynnol Darganfu effeithiau'r glanhau laser. Yn eu plith, y tîm ymchwil dan arweiniad Zapka cael patent cyntaf ar lanhau laser ac yn cydnabod ei ragolygon cais mewn diwydiant. Grŵp ymchwil arall yn y Max Planck sefydliad biocemeg a Ffiseg yng Toku, gwyddonwyr templed silicon ymdriniwyd â gronynnau aur yn ôl maint o 35 nm, ac yna y laser moleciwlaidd nitrogen wedi'i arbelydru uniongyrchol ar arwyneb solet, a o ganlyniad, roedd y gronynnau aur ar yr wyneb wedi llwyddo i dynnu'r, tra oedd y templed silicon difrodi nid, gan nodi y defnyddiwyd y laser i Glanhewch yr arwyneb solet. Gronynnau halogedig yn ymarferol.
Yn 2001, perfformiodd Fourrier a ei cydweithwyr laser stêm glanhau arbrofion ar ronynnau gwahanol siapiau, meintiau, a deunyddiau i ganfod dwysedd y laser sy'n ofynnol ar gyfer gronynnau gwahanol yn ystod y degau i gannoedd o nanometers. Yr un yw y trothwy. Mae'r "Trothwy eang cyson" hwn yn darparu cymorth mwy ffafriol ar gyfer defnydd diwydiannol stêm glanhau laser i gael gwared ar ronynnau is micron. Er bod datblygu glanhau laser yn seiliedig ar lanhau gronynnau solet bach ar yr wyneb, mae ymchwil ar y ceisiadau eraill wedi'u cynnal yn unol â hynny. Er enghraifft, yn y 1970au, ar ôl ymchwil ac arbrofi, canfuwyd bod laserau glanhau adeiladau hanesyddol a gwaith celf. Mae ymarferoldeb. Yn 1992, roedd UNESCO llwyddiannus yn defnyddio laser glanhau i atgyweirio Eglwys Gadeiriol Yasmin yn Lloegr. Mae rhai gwledydd yn Ewrop hefyd wedi cael eu glanhau â laser Eglwys Gadeiriol Amiens (Ffrainc), Eglwys Gadeiriol St. Stephan (Fienna, Awstria), feddrod y milwr anhysbys (Warsaw, Gwlad Pwyl). Mae cais laser yn cael gwared â hefyd wedi denu sylw ymchwilwyr. Mae Woodroffe et al. yn yr Unol Daleithiau wedi gwneud llawer o waith yn y maes hwn.
Yn y 1990au, mae ymchwilwyr yn yr Almaen a Siapan yn datblygu laserau CO2 te high-power ar gyfer paent laser yn cael gwared â, ac yn eu defnyddio i wneud cyfres o arbrofion. Nid oedd tan 2005 bod ymchwilwyr wedi cyhoeddi papurau ar cael gwared o awyrennau gan ddefnyddio high-power te CO2 laserau. Gwyddonwyr o wledydd amrywiol hefyd wedi gwneud llawer o ymchwil ymchwiliol ar y cais molds he, triniaeth wyneb, gofod sothach ac agweddau eraill, a cyflawni canlyniadau rhyfeddol.
